最近在搞射頻源,大致已經(jīng)有眉目了。 _$=xa6YA
具體參數(shù)如下:口徑175mm; H!45w;,I
陽極電壓500~1200V,電流500~1200mA(自動(dòng)匹配); SH`"o
射頻陰極電流500~2000mA。(自動(dòng)匹配) wh~~g
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啟動(dòng)時(shí)間比較短,大概5分鐘就能達(dá)到平穩(wěn)。 ;
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冷卻時(shí)間需要比較長,大概10~30分鐘。 Zn9w1ev
Y<0f1N
柵網(wǎng)壽命大概2年左右,100小時(shí)保養(yǎng)一次,陰極50小時(shí)保養(yǎng)一次。