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摘要 VA*79I#_q tI6USN% 光柵結(jié)構(gòu)廣泛用于光譜儀,近眼顯示系統(tǒng)等多種光學(xué)系統(tǒng)。VirtualLab Fusion通過應(yīng)用傅立葉模態(tài)法(FMM),以簡易的方式提供對(duì)任意光柵結(jié)構(gòu)進(jìn)行嚴(yán)格分析。在光柵工具箱中,可以在堆棧中使用界面或/和介質(zhì)來配置周期性結(jié)構(gòu)。 用于設(shè)置堆棧幾何形狀的用戶界面非常人性化,并且允許生成更復(fù)雜的光柵。在該用例中,討論了由FMM實(shí)現(xiàn)衍射級(jí)次偏振狀態(tài)的研究。 `dq3= X_Of k {e!uvz,e 概述 Y_TL4 /R+]}Lt~%* [sh"? •本文的主題是光在周期性微結(jié)構(gòu)處的衍射后的偏振態(tài)。 f%{ ag •為此,如示意圖所示,在示例性二元光柵結(jié)構(gòu)和錐形入射處研究零級(jí)反射光。 &t@6qi`d •為了在特定示例中討論該主題,在第二部分中根據(jù)Passilly等人的工作(2008年)選擇光柵配置和相應(yīng)參數(shù)。 mU0r"\**c3 `
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\G5Y 衍射級(jí)次的效率和偏振 w1/T>o 2ucsTh@ (Os
OPTp •通常,為了表征光柵的性能,給出了傳播級(jí)次的效率(η)。 I@3c QxI •該效率值包括該特定級(jí)次的所有光的能量,但并不區(qū)分最終出現(xiàn)的不同偏振狀態(tài)。 [OToz~=) •在嚴(yán)格模擬光柵效率的過程中,例如利用傅里葉模態(tài)法,通過使用復(fù)數(shù)場求解均勻介質(zhì)的波動(dòng)方程(也稱為亥姆霍茲方程)。 3qwYicq, •因此,對(duì)于每個(gè)衍射級(jí)次(𝑛)和偏振態(tài),算法的結(jié)果以復(fù)數(shù)值瑞利系數(shù)給出。 K^1O =1gY •特定級(jí)次(𝑛)的效率表示入射光的功率與輸出衍射級(jí)的光功率之間的關(guān)系。它是從瑞利系數(shù)計(jì)算出來的。 oew]ijnB
u\& [@v F7PZV+\ 光柵結(jié)構(gòu)參數(shù) 3Tte8]0 <38@b
]+ "/]tFY%Y •此處探討的是矩形光柵結(jié)構(gòu)。 d?+oT0pCH •為簡單起見,選擇光柵的配置,僅使反射中的零級(jí)次(R0)傳播光線。 R5~vmT5W •因此,選擇以下光柵參數(shù): 9Z_OLai
- 光柵周期:250 nm m">
=QP - 填充系數(shù):0.5 R@{/$p: - 光柵高度:200 nm C%7
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