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    [分享]光柵階次分析器 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-06-09
    摘要 =?/J.[)<*  
    )v'DQAL  
    光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務(wù)。效率可由瑞利系數(shù)計(jì)算得到，對于光柵的每個(gè)衍射階次都給出了這兩個(gè)量。VirtualLab Fusion可通過全矢量的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）來計(jì)算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器，可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 fdPg{3x*k  
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    光柵詳細(xì)說明