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摘要 #6za
Zl7m:b2M 斐索干涉儀是工業(yè)中常見的光學(xué)計(jì)量設(shè)備,它們通常用于光學(xué)表面質(zhì)量的高精度測(cè)試。 借助VirtualLab Fusion中的非順序追跡,我們構(gòu)建了一個(gè)菲索干涉儀,并利用它測(cè)試了不同的光學(xué)表面,例如圓柱形和球形。 可以看出,產(chǎn)生的干涉條紋對(duì)表面輪廓具有敏感性。 Q*caX
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vY(xH>Fd ]`}R,'P 建模任務(wù) S<DS|qOo zP#%ya:I |d=MX>i|G (C!33s1 傾斜平面下的觀測(cè)條紋 @(s"5i.`) ,XmyC7y<
"~aCW~ NTL`9b 圓柱面下的觀測(cè)條紋 c!=^C/5Ee IQQWp@w#8 Zn"1qLPF /]"2;e-s+ 球面下的觀測(cè)條紋 ;c;PNihg w|WehNGr PV/SzfvIq +)l6%QKcW VirtualLab Fusion 視窗 1U;p+k5c
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