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摘要 2+0'vIw} % nJ'r?+h 高數值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此,在仿真聚焦時考慮光的矢量性質是至關重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡的光線和場追跡分析。通過場追跡分析,可以清楚地顯示出由于矢量效應引起的非對稱焦點。相機探測器和電磁場探測器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場,也可以深入研究矢量效應。 Jyvc(~x Y]P]^3
^}9Aq $R !IP[C?(nB 建模任務 9v^MZ^Y{ NX$$4<A1 Kg9REL@,s 概述 _uL m
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