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摘要 m:g%5'qDZ _AiGD 對于如背光、光學(xué)連接器和近眼顯示等許多應(yīng)用來說,光如何高效地耦合到波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中是一個重要問題。對于這些應(yīng)用,眾所周知傾斜光柵可以高效率地耦合單色光。這個例子展示了使用嚴(yán)格的傅立葉模態(tài)法(FMM,也稱為RCWA)對傾斜光柵進(jìn)行優(yōu)化。對于預(yù)定義方向的級次,優(yōu)化得到的光柵的衍射效率超過90%。此外,還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。 :FixLr!q o{7w&Pgs2 t?p>L* m xy=3cUi 建模任務(wù) R?] S<Z zB"y^g _Ry @ 3b- 1階的參數(shù)優(yōu)化 InG<B,/W? d 8z9_C- o6X<FE#8 g:>dF# 結(jié)果-容差分析 ?osYs<k \ ab5i7@Ed %G
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