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- 注冊時間2020-06-19
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垂直腔面發(fā)射激光器 (VCSEL) 是一種特定的微型化半導體激光二極管。諧振腔通常由布拉格反射鏡(分布式布拉格反射器DBR)構成,激光束發(fā)射垂直于頂部的表面。本教程案例展示了如何設置復雜的 VCSEL 幾何形狀,以及如何用其特有的 3D 模式輪廓、共振波長和質量因子(Q 因子)高效的計算腔膜。該設置緊跟文獻中的案例(比恩斯特曼等人2001年發(fā)表的文章)。其結構形狀是旋轉對稱的,因此您可以在圓柱坐標系統中使用共振模式求解器來計算共振。 558!?kx$ p+228K ;H 幾何體(由一個二維平面幾何形狀圍繞 y 軸旋轉以產生三維器件幾何結構)和各種網格生成參數在文件layout.jcm中定義。在此特定情況下,所有層(DBR、激發(fā)層、光圈層、腔層)都在絕對坐標中定義為多邊形,精度低于納米量級。 mA#;6?6 >`^;h]Q 設置網格選項,以便獲得相對較大的且不太精細離散化的計算域。(在這種情況下,最薄的層只有 的厚度,而設備的直徑是約 。在這種條件下,各向異性網格設置可以顯著降低計算工作量。 l,5isq
;m fZ(k"*\MZ 微小特征尺寸(Tiny Feature Size)選項實際上關閉了在所有層中比Tiny Feature Size=100單位長度小的網格劃分。最小網格角度(Minimum Mesh Angle)選項可以設置銳角三角形。刪除內約束選項(Remove Inner Constraints)可以引入亞網格,在垂直方向上通過放置幾個相同材料構成的薄層靠近彼此來實現(在本案例中是在中央空腔區(qū)域完成的)。 LVy`U07C
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