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    [分享]檢查微型晶片的光學(xué)系統(tǒng) [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-07-13
    成像系統(tǒng)>包括光柵 &,`P%a&k  
    %|3UWN  
    任務(wù)/系統(tǒng)說(shuō)明 R2[!h1nZ  
    }L*cP;m#  
    ZpY"P6  
    (tP^F)}e5  
    亮點(diǎn) r7p>`>_Q\  
     /=7[Q  
     gG=E2+=uy  
    meV RdQ  
     在復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)中，包含光柵（如，非常大的數(shù)值孔徑(NA)） aG\B?pn-  
     嚴(yán)格分析光柵衍射效率  Z@`HFZJ  
     考慮入射光的方向分布 qT L@N9  
    $eBE pN  
    說(shuō)明：光源 K&noA  
    W1J7$   
    [t`QV2um  
    lq!l{[Xp  
    說(shuō)明：光束分束器 c =i6  
    = 8%+$vX  
    VN8ao0^d;d  
    1 {V*