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    [分享]檢查微型晶片的光學(xué)系統(tǒng) [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-07-13
    成像系統(tǒng)>包括光柵 -Yy,L%E]F:  
    &mKtW$K` q  
    任務(wù)/系統(tǒng)說明 mHUQtGAVQ  
    [&y{z-D>  
    JV Fn=Mw  
    Qq(/TA0$-  
    亮點 6+e@)[l.zc  
    )VID ;l;4  
    q<yp6Q3^  
    ]i)m   
     在復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)中,包含光柵(如,非常大的數(shù)值孔徑(NA)) #)2'I`_E  
     嚴(yán)格分析光柵衍射效率 KQj5o>} 6  
     考慮入射光的方向分布 =U!M,zw4  
    DDyeN uK  
    說明:光源 lO9ML-8C1  
    V