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蛾眼減反結構設計與加工承接
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蛾眼減反結構設計與加工承接
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發(fā)表于: 2021-07-22
蛾眼
結構
可以減少反射率,原因在于:當
材料
表面
納米
結構尺度小于光
波長
時,光波無法辨認出該納米結構,而圓錐型的蛾眼結構可以使材料表面的
折射率
沿深度方向呈連續(xù)變化,從而減小折射率急劇變化所造成的反射。
>eG<N@13p
對于抗反射蛾眼2D周期性亞波長結構,需要對其進行嚴格的矢量計算和分析,通過使用VirtualLab Fusion提供的傅里葉模態(tài)法(Fourier Modal Method,FMM)以及
參數
運行(New Parameter Run)和參數
優(yōu)化
(New Parameter Optimization)功能,可以實現不同
角度
以及不同波長條件下低反射率的蛾眼結構的設計。
^PNDxtd|v
目前,我們采用納米壓印技術,可以在
玻璃
或塑料膜表面制作大面積的蛾眼結構,實現減反效果。在可見光范圍內可以將材料表面的反射率降低到小于0.2%。在紅外波段,結合納米壓印和等離子刻蝕
工藝
,可以在硅表面加工蛾眼結構來減少其對紅外光的反射。
3f^Pr
J";N^OR{A%
bVU4H$k
ph5{i2U0
上圖:VirtualLab Fusion設計的抗反射蛾眼結構
]$L5}pE3
J1I,;WGf
下圖:加工出來的抗反射蛾眼結構
ZtO$kK%q;
QQ:2987619807
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