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E!F^H^~$8 1.Horos—光學粗糙度傳感器。 CWKm(@"5 2.測量樣本。 uPvEwq*
C 3.鉆石旋轉加工表面的測量結果。 )t%b838l% 4.Horos—光學材料粗糙度傳感器以及白光干涉儀測量結果比較 (樣本:1.-Mo/Si-鏡子,2-Ti-膜,3-鉆石旋轉法下Al-表面)。 Dw"\/p:-3 UPGtj"2v- 系統(tǒng)簡介 |DwZ{(R"W rPm x 隨著光學技術不斷地發(fā)展,對于光學材料或光學薄膜的表面性能測量的需求也日益增多。horos傳感器可直接測量表面粗糙程度。它具有非接觸式測量,快速測量的特點。并且它的體積小便于移動。被測樣本的規(guī)格從機械零件到具有納米結構的光學表面均可。 Q,Eo mt [nh>vqum 特征及技術參數(shù) `WS&rmq&' E{vbO/|kf - 可測量參數(shù):粗糙度相關一系列值 (例如PSD,傾斜度等等),3D下散射光分布,檢測是否各項同性等。 *m
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