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?7>G\0G 1.Horos—光學(xué)粗糙度傳感器。 J{fTx@?( 2.測(cè)量樣本。 SPfz/ q{ 3.鉆石旋轉(zhuǎn)加工表面的測(cè)量結(jié)果。 lezX-5Z 4.Horos—光學(xué)材料粗糙度傳感器以及白光干涉儀測(cè)量結(jié)果比較 (樣本:1.-Mo/Si-鏡子,2-Ti-膜,3-鉆石旋轉(zhuǎn)法下Al-表面)。 ~JhH ,E \
vf&Ldk 系統(tǒng)簡(jiǎn)介 Yxik.S+G L-Io!msb 隨著光學(xué)技術(shù)不斷地發(fā)展,對(duì)于光學(xué)材料或光學(xué)薄膜的表面性能測(cè)量的需求也日益增多。horos傳感器可直接測(cè)量表面粗糙程度。它具有非接觸式測(cè)量,快速測(cè)量的特點(diǎn)。并且它的體積小便于移動(dòng)。被測(cè)樣本的規(guī)格從機(jī)械零件到具有納米結(jié)構(gòu)的光學(xué)表面均可。 zf+jQ SB"Uu2)wZ 特征及技術(shù)參數(shù) ZBYFQTEE X@;;
h - 可測(cè)量參數(shù):粗糙度相關(guān)一系列值 (例如PSD,傾斜度等等),3D下散射光分布,檢測(cè)是否各項(xiàng)同性等。 <r 2$k"*: - 靈敏度R_q<0.5 nm |6@s6]%X} - 測(cè)量時(shí)間: < 1 s。 PM]|S` - 與輪廓儀直接相連——測(cè)量結(jié)果可直接比較。 w)}' {]P"c BMaw]D Egy#_ RT{ 傳感器: })~M}d2LXB ')eg6IC0&T Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一種小型的,便于移動(dòng)的光學(xué)傳感器。它以散射測(cè)量為基礎(chǔ),用于測(cè)量表面粗糙程度。測(cè)量范圍可從微米級(jí)到亞納米級(jí)。 @`"
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