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    [求助]磁控濺射靶的問題 [復制鏈接]

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    離線mainbomb
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2007-03-11
    — 本帖被 cyqdesign 從 光學資源 移動到本區(qū)(2007-04-06) —
    就我所用的磁控濺射儀,磁控濺射的靶在用一段時間之后,在靶邊緣的特定區(qū)域總是會發(fā)藍,尤其是NiCr合金靶、Pb靶和TiW的靶,請問是怎么回事?還有濺射鍍膜的均勻性不好,有什么可以改善的方法嗎? ~5zhK:7c  
    請大俠不吝賜教 !非常感謝
     
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    離線wolfliu
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2007-04-05
    你使用的是什么磁控濺射設備?
    離線wolfliu
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2007-04-10
    很可能是污染所致,比如輕微的氧化。
    離線荷塘月色
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2007-07-02
    靶溫度過高,冷卻效果不好。
    離線luochan
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2007-08-10
    請問您所使用的靶材主要用于哪方面的用途啊?
    離線jianfei88
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2007-08-10
    真空度!
    離線青桃
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2007-08-20
    兩端遮擋,表面輕微氧化
    離線dianke
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2007-09-03
    請問 是什么設備