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本案例將解釋如何在VirtualLab中進(jìn)行三維光柵建模 ck$M(^)l 'PpZ/ry$ 本案例所使用的工具箱為光柵工具箱 k1#5nYN. Ny^'IUu 基于堆棧結(jié)構(gòu)進(jìn)行光柵模擬的光柵工具箱具有兩種類型的光柵,分別為二維(2D)光柵和三維(3D)光柵 rGQ5l1</ Yy hny[fa9 基于堆棧的光柵元件包含一個(gè)基板(base block),堆棧(stack)則位于基板的邊界上,基板為均勻介質(zhì),下圖為三種類型的堆棧-基板結(jié)構(gòu) q? 9GrwL8F \Tyf
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