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    [分享]衍射光學(xué)元件的產(chǎn)生及其結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)的輸出 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-09-24
    本案例計(jì)算從傳輸中得到的衍射光學(xué)元件的高度分布和結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)的產(chǎn)生 Un~]Q?w  
    關(guān)鍵詞：衍射光學(xué)，衍射光學(xué)元件，結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)，GDSII，ASCII，位圖 OrzM hQaf  
    所需工具箱：Diffractive Optics Toolbox Basic；Tutorial在試用版本中不可用。聯(lián)系LightTrans或者當(dāng)?shù)亟?jīng)銷商可申請一段全版本的試用。 K T%i,T  
    相關(guān)Tutorials：DO.1; DO.2; DO.3; DO.4; DO.5; DO.7; LBS.1; LBS.2 ya;@<b  
    建模任務(wù) EC0zH#N  
    3@%BA(M  
    ]U#JsMS  
     q=J9L Q  
    }7otuO(pRo  
    照射光束強(qiáng)度               衍射擴(kuò)散器                    產(chǎn)生的光圖樣強(qiáng)度 :A,O(   
    建模任務(wù)  `NTM%# w  
    /abmjV0  
     RT1{+:l  
    2       擴(kuò)散器參數(shù)： 9T?~$XlX  
    —相位層：4 hYs82P|2Ol  
    —像素尺寸：830*830nm 9@JlaY)0  
    —口徑：1*1mm +?ws !LgF  
    —周期：664,83*664,83um 5+o 2 T]  
    2       結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)輸出為二進(jìn)制格式 uv?8V@x2  
    2       需要的高度分布計(jì)算 CD*f4I#d  
    2       蝕刻掩模分解 `8.1&fBr  
    2       蝕刻掩模輸出為位圖和GDSII文件 v/QEu^C  
    打開光學(xué)擴(kuò)散器系統(tǒng) )zo#1$C-  
    ^U R-#WaQ  
    &Xj