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    [技術(shù)]F-Theta物鏡激光掃描系統(tǒng)的性能分析 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-11-12
    激光掃描系統(tǒng)（LSC.0002 v1.0） qW t 9Tr  
    E{E%nXR)  
    應(yīng)用案例概述     pu5-=QN  
    =xPBolxm5U  
    系統(tǒng)細(xì)節(jié) 5# $5ct  
    3QD##Wr^  
    光源 >TwL&la  
    – 綠光二極管 ^ ,yh384  
    元件 ns9a+QQ  
    – 雙軸振鏡掃描儀 J2Eb"y>/;  
    – F-Theta物鏡 nnBl:p>< k  
    探測器 S`&YY89{&  
    – 場曲和畸變探測器 X5wYfN  
    – 光束強(qiáng)度剖面探測器 @G0j/@v