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    [技術(shù)]F-Theta物鏡激光掃描系統(tǒng)的性能分析 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-11-12
    激光掃描系統(tǒng)（LSC.0002 v1.0） n38l!m(.  
    J_@`:l0,z  
    應(yīng)用案例概述     R64/m9  
    wM0P#+bA\  
    系統(tǒng)細(xì)節(jié) n[c/L8j  
    {0J (=\u  
    光源 6$'0^Ftm'  
    – 綠光二極管 p}K\rpvJpu  
    元件 O{&wqV5m"  
    – 雙軸振鏡掃描儀 XJ*W7HD  
    – F-Theta物鏡 HLYo+;j3|  
    探測器 TM*<hC  
    – 場曲和畸變探測器 ;e#bl1%#  
    – 光束強(qiáng)度剖面探測器 xA#'%|"  
    – 焦點(diǎn)區(qū)域探測器  $hgsWa  
    – 光束參數(shù)探測器 *<IQ+oat,a  
    模擬/設(shè)計(jì) ;FH_qF`.  
    – 光線追跡：分析掃描場尺寸，場曲以及畸變 .4cOMiG  
    – 場追跡：考慮衍射效應(yīng)，進(jìn)行更精確的光束尺寸和剖面的研究 > Du>vlT Y  
    <uL0 M`u3  
    系統(tǒng)說明 $8t\|O3  
    ~'3hK4  
    3`^NaQ  
    激光掃描系統(tǒng)的性能評估 .#wU+t>  
    MoP,a9p  
     一個(gè)激光掃描系統(tǒng)的掃描光學(xué)部分包含了一個(gè)掃描儀單元和一個(gè)F-Theta物鏡，在一維掃描過程中（沿入射角Theta），通過分析光束的場曲和畸變來評估其性能。 Y:3\z?oV[  
     此外，計(jì)算了不同掃描位置處的光束尺寸和輪廓。 m L,El2  
    2I qvd