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激光掃描系統(tǒng)(LSC.0002 v1.0)
h`wMi}q'D HE#,(;1i 應(yīng)用案例概述 &a%WM /9x{^ 系統(tǒng)細(xì)節(jié) \H Wcd| IVI~1~ 光源 }xAie( – 綠光二極管 [[R7~.; 元件 ,O:EX0 – 雙軸振鏡掃描儀 s?QVX~S" – F-Theta物鏡 '|vD/Qf=& 探測器 B.89_!/:p – 場曲和畸變探測器 r4O|() – 光束強度剖面探測器 "z
rA`` – 焦點區(qū)域探測器 $> "J"IX – 光束參數(shù)探測器 6g5PM4\ 模擬/設(shè)計 &49u5&TiP – 光線追跡:分析掃描場尺寸,場曲以及畸變 ~I{EE[F>qL – 場追跡:考慮衍射效應(yīng),進(jìn)行更精確的光束尺寸和剖面的研究 2
;JQX! di~]HUZh) 系統(tǒng)說明 K)\(wxv e]lJqC |u@+`4o 激光掃描系統(tǒng)的性能評估 >Bc>IO Og,Y)a;= 一個激光掃描系統(tǒng)的掃描光學(xué)部分包含了一個掃描儀單元和一個F-Theta物鏡,在一維掃描過程中(沿入射角Theta),通過分析光束的場曲和畸變來評估其性能。 t#C,VwMe[ 此外,計算了不同掃描位置處的光束尺寸和輪廓。 <d5@CA+M 6cJ<9i
& 模擬和設(shè)計結(jié)果
qE )Y}oN bS>R5*Zp =M7TCE 其他的VirtualLab特征 \ht ?Gn S]}}A 在此案例中,你將從以下選擇的特征中獲益: b"I~_CL| 各種探測器 B[r<m J - 測量與反射鏡掃描角度相關(guān)的焦點位置 pmD4j8F_ - 測量探測器平面上的光束位置 JPEIT - 使用焦點區(qū)域探測器計算焦點區(qū)域中的場 pet~[e%! 參數(shù)耦合 RctU'
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