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    [技術(shù)]F-Theta物鏡激光掃描系統(tǒng)的性能分析 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-11-12
    激光掃描系統(tǒng)(LSC.0002 v1.0) h`wMi}q'D  
    HE#,(;1i  
    應(yīng)用案例概述
    &a%WM   
    /9x{^  
    系統(tǒng)細(xì)節(jié) \H Wcd|  
    IVI~1~  
    光源 }xAie(  
    – 綠光二極管 [[R7~.;  
    元件 ,O:EX0  
    – 雙軸振鏡掃描儀 s? QVX~S"  
    – F-Theta物鏡 '|vD/Qf=&  
    探測器 B.89_!/:p  
    – 場曲和畸變探測器 r4O|()  
    光束強度剖面探測器 "z rA``  
    – 焦點區(qū)域探測器 $> "J"IX  
    – 光束參數(shù)探測器 6g5PM4\  
    模擬/設(shè)計 &49u5&TiP  
    光線追跡:分析掃描場尺寸,場曲以及畸變 ~I{EE[F>qL  
    – 場追跡:考慮衍射效應(yīng),進(jìn)行更精確的光束尺寸和剖面的研究 2 ;JQX!  
    di~]HUZh)  
    系統(tǒng)說明 K)\(wxv  
    e]lJqC  
    |u@+`4o  
    激光掃描系統(tǒng)的性能評估 >Bc> IO  
    Og,Y)a;=  
     一個激光掃描系統(tǒng)的掃描光學(xué)部分包含了一個掃描儀單元和一個F-Theta物鏡,在一維掃描過程中(沿入射角Theta),通過分析光束的場曲和畸變來評估其性能。 t#C,VwMe[  
     此外,計算了不同掃描位置處的光束尺寸和輪廓。 <d5@CA+M  
    6cJ<9i &  
    模擬和設(shè)計結(jié)果 qE )Y}oN  
    bS>R5*Zp  
    =M7TCE  
    其他的VirtualLab特征 \ht ?G n  
    S]}}A  
    在此案例中,你將從以下選擇的特征中獲益: b"I~_CL|  
     各種探測器 B[r<m J  
    - 測量與反射鏡掃描角度相關(guān)的焦點位置 pmD4j8F_  
    - 測量探測器平面上的光束位置 JPEIT  
    - 使用焦點區(qū)域探測器計算焦點區(qū)域中的場 pet~[e%!  
     參數(shù)耦合 RctU'