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UID:317649
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- 注冊時間2020-06-19
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測量系統(tǒng)(MSY.0002 v1.1) sB69R:U; 應(yīng)用示例簡述 pm{|?R 1. 系統(tǒng)說明 e.c3nKXZ q 光源 5BBD.! — 氙氣燈(部分相干白光) h*ZC*eV> 組件 =_YG#yS — 分束器和合束器,消色差準(zhǔn)直透鏡系統(tǒng),平面反射鏡,待測樣品 *%KKNT'* 探測器 9'hv%A:\3 — 強度分布表現(xiàn)出不同的干涉效應(yīng) Z$J#| 建模/設(shè)計 1~$);US — 光線追跡:初始系統(tǒng)概覽 #97h6m? — 幾何場追跡Plus(GFT+): ?WE 部分相干白光會減少干涉條紋的對比度 u^029sH6j 掃描樣品的高度輪廓時光強會發(fā)生變化 B c2p(z4 _HhbIU 2. 系統(tǒng)說明 uYr
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