該案例主要說明了周期性結(jié)構(gòu)內(nèi)電磁場(chǎng)分布的嚴(yán)格計(jì)算。出于此目的，研究了兩種不同的系統(tǒng)：具有狹縫的矩形光柵和具有三角形狀的介質(zhì)光柵(等腰三角形)。 H/k W :k  
m0Syxb  
1. 建模任務(wù)1：金屬光柵 +q/h:q.TV  
Fnpn_O XlH  
z#VpS=  
 在Ey (TE)偏振光照明下的光柵內(nèi)部場(chǎng)分布的嚴(yán)格仿真。 p'uz2
/g  
 對(duì)于這個(gè)仿真，采用傅里葉模態(tài)法。 ~(j'a!#Vvk  
o#xg:m_py  
2. 建模任務(wù)2：介質(zhì)光柵 Yp]G)}'R  
el?V2v[  
 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光柵內(nèi)部場(chǎng)分布的嚴(yán)格仿真。 5j,qAay9  
 對(duì)于這個(gè)仿真，采用傅里葉模態(tài)法。 &fW=5'  
8-a6Q
|   
3. 建模任務(wù) &H&P)Px*_  
K$cIVsfr  
" ^baiN@ac  
 VirtualLab的光柵工具箱提供了場(chǎng)內(nèi)部分量分析器，用戶可以對(duì)光柵結(jié)構(gòu)中的電磁場(chǎng)分布進(jìn)行嚴(yán)格計(jì)算。 mRH]'dlD7  
 通過該分析器，可以對(duì)任意形狀的光柵進(jìn)行研究。 .w_`d'}  
 場(chǎng)分布計(jì)算能夠檢測(cè)結(jié)構(gòu)內(nèi)部的熱點(diǎn) 7J;~&x  
^<\} Y  
4. TE和TM照明線性光柵 J md ?  
.crM!{<Y  
5. 鉻狹縫的分析 
4E-A@FR  
=>0M3 Qh{  
I'9s=~VfY,  
 通過計(jì)算場(chǎng)分量，可描述多種場(chǎng)量，如振幅、位相、振幅平方。 RLz`aBT  
 左圖顯示的是Ey方向的振幅平方，由于TE偏振光照明，這是唯一一個(gè)不為零的場(chǎng)量。 KWJgW{{v  
 對(duì)于金屬結(jié)構(gòu)，由于集膚效應(yīng)，場(chǎng)合能量主要位于狹縫（空氣）內(nèi)。 iM|"H..  
 紅線說明了結(jié)構(gòu)的形狀（手動(dòng)添加） U|7Qw|I7  
2nU NI U  
6. 三角光柵的分析 @xm~T|[7  
 左圖為三角介質(zhì)光柵，描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 mBZDl4 '  
Rca Os  
\678Nx  
 如果是介質(zhì)光柵結(jié)構(gòu)，場(chǎng)合能量主要集中在光柵脊內(nèi)。 @
k+G Cf  
 由于三角高度輪廓是在x-z平面內(nèi)變化，電場(chǎng)的y分量幾乎沒有影響。 %?oU{KzQ@;  
 紅線說明了結(jié)構(gòu)的形狀（手動(dòng)添加）。
L-C/Luws  
 左圖顯示的TM偏振光照明下，Ex分量的振幅平方。 4A/,X>W61  
/QXs-T}d  
 與TE偏振光照明對(duì)比，由于三角光柵形狀，場(chǎng)和能量分布受到強(qiáng)烈的影響。 紅線說明了結(jié)構(gòu)的形狀（手動(dòng)添加）。 ?4>y2!OC9  
[k~+(.2I  
7. 總結(jié) .x!7  
)fMX!#KP  
 VirtualLab的光柵工具箱能夠?qū)θ我庑螤罟鈻沤Y(jié)構(gòu)進(jìn)行嚴(yán)格分析。 r\n h.}s  
 內(nèi)部場(chǎng)分量分析器允許計(jì)算所研究光柵結(jié)構(gòu)內(nèi)部的所有電磁場(chǎng)分量。 @`;Y/',  
 對(duì)于該類型的計(jì)算，VirtualLab采用全矢量傅里葉模態(tài)法。 C6'*/wq  
 光柵內(nèi)部場(chǎng)分布的研究能夠進(jìn)行熱點(diǎn)識(shí)別(高能密度)，如果采用高能光源，這些熱點(diǎn)可能損壞元件。