該案例主要說明了周期性
結(jié)構(gòu)內(nèi)電磁場(chǎng)分布的嚴(yán)格計(jì)算。出于此目的,研究了兩種不同的
系統(tǒng):具有狹縫的矩形
光柵和具有三角形狀的介質(zhì)光柵(等腰三角形)。
}:<`L\8q\ ;gLHSHEA 1. 建模任務(wù)1:金屬光柵 {VtmQU?cJ kU{+@MA; Mrysy)x 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光柵內(nèi)部場(chǎng)分布的嚴(yán)格
仿真。
D[32t0 對(duì)于這個(gè)仿真,采用傅里葉模態(tài)法。
@M-i$
q[4 v._Q XcE 2. 建模任務(wù)2:介質(zhì)光柵 Ezsb'cUa( N4]QmRX/j 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光柵內(nèi)部場(chǎng)分布的嚴(yán)格仿真。
3eT5~Lbs 對(duì)于這個(gè)仿真,采用傅里葉模態(tài)法。
un([3r ySAkj-< /P 3. 建模任務(wù) > Dy<@e -< D7 7iMBDkb7
VirtualLab的光柵工具箱提供了場(chǎng)內(nèi)部分量分析器,用戶可以對(duì)光柵結(jié)構(gòu)中的電磁場(chǎng)分布進(jìn)行嚴(yán)格計(jì)算。
P'%#B&LZo 通過該分析器,可以對(duì)任意形狀的光柵進(jìn)行研究。
wX5Yo{ 場(chǎng)分布計(jì)算能夠檢測(cè)結(jié)構(gòu)內(nèi)部的熱點(diǎn)
$;7,T~{ tljZE) 4. TE和TM照明線性光柵 :/UO3 c( (#I$4Px{ 5. 鉻狹縫的分析 %3b;`Oa T'_#Dwmj* 9<0TF+}> 通過計(jì)算場(chǎng)分量,可描述多種場(chǎng)量,如振幅、位相、振幅平方。
R9XISsM^ 左圖顯示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,這是唯一一個(gè)不為零的場(chǎng)量。
[A~n=m5H 對(duì)于金屬結(jié)構(gòu),由于集膚效應(yīng),場(chǎng)合能量主要位于狹縫(空氣)內(nèi)。
" kp+1sG8 紅線說明了結(jié)構(gòu)的形狀(手動(dòng)添加)
@uA=v/>+ +g %h,@ 6. 三角光柵的分析 1g_p`( 左圖為三角介質(zhì)光柵,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
(5CdA1| "#}Uh Qp>'V<%m- 如果是介質(zhì)光柵結(jié)構(gòu),場(chǎng)合能量主要集中在光柵脊內(nèi)。
K^32nQX 由于三角高度輪廓是在x-z平面內(nèi)變化,電場(chǎng)的y分量幾乎沒有影響。
%!DdjC&5* 紅線說明了結(jié)構(gòu)的形狀(手動(dòng)添加)。
>-8r|};+ 左圖顯示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
D)shWJRlvW (<GBhNj=c 與TE偏振光照明對(duì)比,由于三角光柵形狀,場(chǎng)和能量分布受到強(qiáng)烈的影響。 紅線說明了結(jié)構(gòu)的形狀(手動(dòng)添加)。
c{.y9P6 1. A@5*