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案例514（2.0） @qDrTH]5 F"H!CJJu& 該應(yīng)用案例演示了對(duì)亞波長(zhǎng)尺寸的抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析與優(yōu)化。此外，對(duì)直徑和高度等結(jié)構(gòu)參數(shù)的影響進(jìn)行了研究，并說(shuō)明了反射率對(duì)波長(zhǎng)及入射角變化的敏感度。 B|=maz:_
N]}+F w\5 1. 建模任務(wù) }# x3IE6' 'lk74qU$
對(duì)全部反射光進(jìn)行嚴(yán)格仿真并對(duì)結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化。 +-\9'Q
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假設(shè)確定的蛾眼結(jié)構(gòu)作為截錐三維光柵。 C<t>m_t9 2. 建模任務(wù)：3維平頂錐 HdUW(FZ cmU+VZ#pk 3. 3維光柵結(jié)構(gòu)建模 &] 6 T^ . O` jA-t $tHwJ!<$&
VirtualLab提供了不同預(yù)定義的光學(xué)界面用來(lái)簡(jiǎn)化復(fù)雜3維光柵的設(shè)計(jì)。 j2 ^T:q[
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例如截錐金字塔和錐體可從現(xiàn)有目錄中選擇。 1!wEXH(
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可將周期性再現(xiàn)功能應(yīng)用于任意形狀光學(xué)界面，用來(lái)建立微透鏡陣列或混合透鏡。 .GN$H>') 4. 結(jié)構(gòu)參數(shù) _0q~s@-
w%dIe!sV 優(yōu)化過(guò)程中保持不變的參數(shù)： 50aWFJYw 1. 高度因子：1(該參數(shù)可用于翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)) ><M gIV 2. 底部直徑：125nm 7B\(r~f`t 3. 周期尺寸：125nm |K;T xe _ 優(yōu)化過(guò)程中變化的參數(shù)： {U '&9_y 1. 高度(頂圓直徑=30nm) ONq/JW$?LV 2. 頂部直徑(高度為1中優(yōu)化后的高 (+8xUc(w
#Rx"L&3Ue 5. 3維截錐結(jié)構(gòu)的建模 /)?P>!#;\
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VirtualLab提供了不同選項(xiàng)來(lái)設(shè)計(jì)3維截錐結(jié)構(gòu)。 w1#jVcUQ
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如高度、頂部及底部直徑等重要的參數(shù)可非常方便地進(jìn)行調(diào)整。 *-AAQ
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通過(guò)“周期化”標(biāo)簽，所有指定的面都可被周期化定義。 T5jG II a ]|t.wr3AU 6. 頂部直徑的優(yōu)化 AOx3QgC^NO
z O5u{ if[o?6U4t 利用參數(shù)運(yùn)行文檔，找到最佳的頂部直徑(最低的反射率) XVDd1#h
I,<54? vS 當(dāng)截錐頂部直徑小于100nm時(shí)，隨直徑增大，反射率緩慢增大；當(dāng)頂部直徑大于100nm時(shí)，隨直徑增大，反射率迅速增大。 #!Cter2
px }7If 直徑過(guò)小可能給生產(chǎn)帶來(lái)問(wèn)題。因此，在后續(xù)的演示中將直徑選擇30nm T[XP\!z]B!
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