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案例514(2.0) +7nvy^m bFlI:R&< 該應用案例演示了對亞波長尺寸的抗反射蛾眼結構的嚴格分析與優(yōu)化。此外,對直徑和高度等結構參數(shù)的影響進行了研究,并說明了反射率對波長及入射角變化的敏感度。 Q)qJ6-R|HD [7[Qw]J 1. 建模任務 B,%KvL&xMX O,
:| 對全部反射光進行嚴格仿真并對結構參數(shù)進行優(yōu)化。 (njTS+? F$kiSjh9aJ 假設確定的蛾眼結構作為截錐三維光柵。 PYY< 2. 建模任務:3維平頂錐 mqUDve( Fm6]mz%~u# 3. 3維光柵結構建模 0Js5 '
9}H gTB|IcOs 6c/0OM# VirtualLab提供了不同預定義的光學界面用來簡化復雜3維光柵的設計。 3u^wK <S6?L[_ 例如截錐金字塔和錐體可從現(xiàn)有目錄中選擇。 Aw4)=-LKO zxx9)I@?A 可將周期性再現(xiàn)功能應用于任意形狀光學界面,用來建立微透鏡陣列或混合透鏡。 X}C8!LA 4. 結構參數(shù) HU4h.Lm 4gdXO 優(yōu)化過程中保持不變的參數(shù): l[m*csDk" 1. 高度因子:1(該參數(shù)可用于翻轉結構) $AMcU5^b7 2. 底部直徑:125nm 3DB= Xh 3. 周期尺寸:125nm @Gw]cm 優(yōu)化過程中變化的參數(shù): )J+rt^4| 1. 高度(頂圓直徑=30nm) ,1JQjsR 2. 頂部直徑(高度為1中優(yōu)化后的高 yv>uzb`N {TMng& 5. 3維截錐結構的建模 ) .' + { u(?U[pe[ 0o
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