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切爾尼-特納單色器——衍射級次重疊
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任務/系統(tǒng)說明
u URf
!>M: G:K
亮點
(j(6%U
Af;$}P
•復雜
光學
系統(tǒng)
的高性能分析;
y0xte&
•通過嚴格算法(傅里葉模態(tài)法)對
光柵
進行全矢量分析;
8qT/1b
HxjhP(
具體要求:
光源
hGsYu