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任務(wù)/系統(tǒng)視圖 OX,em Ti , S^y> Pk&=\i< hq"nRH 亮點(diǎn) uV|F3'jT *mV?_4!,f7 Z71_D 2fdN@iruB 顯微鏡系統(tǒng)中光柵的全矢量分析 r'ilJ(" 在幾秒鐘內(nèi)對(duì)復(fù)雜系統(tǒng)進(jìn)行快速高性能分析 &q&z$Gc;m 光線追跡和物理光學(xué)建模之間的簡單切換 ,b^Y8_ltoT Ew4D';&; 說明:光源 FOD'&Yb& ^5Y<evjm a|TUH+| sudh=_+> 6Takx%U }S"gZ6 說明:透鏡系統(tǒng) #0)TS 0~<?*{~ JQLQS 說明:樣品結(jié)構(gòu) e O~p"d-| pPxgjX R;,5LS&*a gHgqElr( 說明:探測(cè)器 4~Q<LEly S%H"i
y I3Co ?Kmz urG CUB;0J( ?i_2ueVR 結(jié)果:3D光線追跡 %#fjtbeB 9~^k3!>0 |5(CzXR] };rEN`L }2Ge??! -7oIphJ=\ 結(jié)果:光線追跡 3hkEjR {%6
'|<`[ S^q^=q0F uD{^1c3x 結(jié)果:光線追跡衍射級(jí)數(shù) [6\O
<-? Rhlm ?AO=)XV2 aeYz;&K 結(jié)果:場(chǎng)追跡采樣平面 a^G>|+8 5T"h7^}e Q?.9BM1V E690'\)31 結(jié)果:場(chǎng)追跡焦平面 ZCK#=:ln F" G+/c/L cEXd#TlY~X {y|.y~vW 結(jié)果:減小光柵周期 H
O>3>v zWN]#W` 隨著光柵周期的減小,光柵結(jié)構(gòu)不能被分辨。 3Zz_wr6 =C#z Px, :\mdVS!o bTx4}>=5l 3]\'Q} $Q|6W &?[; kQ[23
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