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1.系統(tǒng)細(xì)節(jié) H"l'E9k.&p 光源 < r~Tj
- 綠色激光二極管 p%-9T>og 元件 2Mda'T8 - 基于單掃描微鏡的激光掃描系統(tǒng),例如MEMS(微機(jī)電系統(tǒng)) 0*^Fk=>ej 探測(cè)器 b&1@rE- - 光線可視化檢查(3D顯示) M&dtXG8<^ - 場(chǎng)分布和相位計(jì)算 DVl:s - 光束參數(shù)(M2值,發(fā)散角) |*$_eb 建模/設(shè)計(jì) *&D=]fG - 光線追跡:首先概覽系統(tǒng)性能 ;+U9; - 場(chǎng)追跡: |sh U √ 光束傳播包含表面像差 %Y TIS*+0 √ 分析生成光束的形狀和質(zhì)量 9D,&)6 hj4Rr(T 2.系統(tǒng)圖片 \bfHGo= W#!\.m`5 o[6hUX0tN i`~y%y 3.模擬和設(shè)計(jì)結(jié)果 7-DC"`Y8e 鏡像差(由澤尼克多項(xiàng)式表示): ?*4zNhL '<Gqu_- &%lhov $H^6I8> 4.總結(jié) ,o)MiR9-[A i?>"}h 基于單掃描微鏡的激光掃描系統(tǒng)(例如MEMS)中的鏡像差進(jìn)行建模和仿真。 |};~YMH 1) 模擬 iYf4 /1IG, 通過使用光線追跡方法驗(yàn)證激光掃描設(shè)置 ^4"_I 2) 建模 qU}DOL| 使用澤尼克標(biāo)準(zhǔn)界面來模擬靜態(tài)或動(dòng)態(tài)形式的復(fù)雜鏡面像差 ;Yj}9[p;T 3) 分析 E !8y|_(j 為了計(jì)算場(chǎng)分布和評(píng)價(jià)光束形狀和參數(shù),應(yīng)用經(jīng)典場(chǎng)追跡引擎 O,cx9N
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