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1.系統(tǒng)細(xì)節(jié) aGtf z) 光源 !u[eaLxV - 綠色激光二極管 (jRm[7H 元件 ic#`N0s? - 基于單掃描微鏡的激光掃描系統(tǒng),例如MEMS(微機(jī)電系統(tǒng)) |8l<$J 探測(cè)器 'O_3)x5 - 光線可視化檢查(3D顯示) R?"q]af~ - 場(chǎng)分布和相位計(jì)算 oldA#sA$ - 光束參數(shù)(M2值,發(fā)散角) D"2&P^- 建模/設(shè)計(jì) zkuU5O - 光線追跡:首先概覽系統(tǒng)性能 SBfT20z[ - 場(chǎng)追跡: DN-+osPi √ 光束傳播包含表面像差 qh|_W(`y √ 分析生成光束的形狀和質(zhì)量 %4,O 2\0?& 1Vrh4g.l 2.系統(tǒng)圖片 PGhY>$q>b c|B.n]Z xy/`ZS2WPq V)~.~2$ 3.模擬和設(shè)計(jì)結(jié)果 <66X Xh. 鏡像差(由澤尼克多項(xiàng)式表示): _u5#v0Y
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