傳統(tǒng)意義上,Essential Macleod的設(shè)計是由一系列完全干涉的
薄膜組成,并只在基板的一側(cè)形成膜層。而Stack是由一組膜層和基板組成,基板的兩個面是平行的,以便在相同
材料中傳播角度相同。Stack中,膜層被介質(zhì)(或基底)分開,介質(zhì)(或基底)由其材料和厚度定義。入射介質(zhì)和出射介質(zhì)是半無限的,但其它介質(zhì)的厚度都是有限的。另一方面,膜層是繼續(xù)支持完全一致性,即完全干涉。這通常是真實膜層和基底的情況,即考慮基板后表面反射或者鍍膜的情況。
w iq{Jo# wiVQMgi` 為什么介質(zhì)或基板不支持干涉?這是一個
系統(tǒng)問題;宓暮穸韧ǔR院撩锥皇
納米來測量,因此路徑差異非常長。入射角、
波長和厚度的微小變化,雖然對路徑差異的比例效應(yīng)很小,但對它們所代表的相位變化有很大影響,因為許多波長都涉及到這些路徑差異。當(dāng)各種
光線組合在一起時,干涉條紋會被沖掉,只留下總的輻照度。在單個設(shè)計文檔時,我們總是假設(shè)使用完全準(zhǔn)直的單色光,其中入射角和波長變化的相應(yīng)影響通常很小,可以忽略不計,從而在設(shè)計中存在完全相干效應(yīng)。
V?"^Ff3m! 圖1.基板足夠厚時,無需考慮干涉效應(yīng)。如果考慮基板的干涉,要將基板看成一層薄膜,而整個系統(tǒng)看作一個膜系
GW