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蛾眼減反結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與加工承接
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蛾眼
結(jié)構(gòu)
可以減少反射率,原因在于:當(dāng)
材料
表面
納米
結(jié)構(gòu)尺度小于光
波長(zhǎng)
時(shí),光波無(wú)法辨認(rèn)出該納米結(jié)構(gòu),而圓錐型的蛾眼結(jié)構(gòu)可以使材料表面的
折射率
沿深度方向呈連續(xù)變化,從而減小折射率急劇變化所造成的反射。
'bfxQ76@sa
對(duì)于抗反射蛾眼2D周期性亞波長(zhǎng)結(jié)構(gòu),需要對(duì)其進(jìn)行嚴(yán)格的矢量計(jì)算和分析,通過(guò)使用VirtualLab Fusion提供的傅里葉模態(tài)法(Fourier Modal Method,F(xiàn)MM)以及
參數(shù)
運(yùn)行(New Parameter Run)和參數(shù)
優(yōu)化
(New Parameter Optimization)功能,可以實(shí)現(xiàn)不同
角度
以及不同波長(zhǎng)條件下低反射率的蛾眼結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)。
4W>DW`{
目前,我們采用納米壓印技術(shù),可以在
玻璃
或塑料膜表面制作大面積的蛾眼結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)減反效果。在可見(jiàn)光范圍內(nèi)可以將材料表面的反射率降低到小于0.2%。在紅外波段,結(jié)合納米壓印和等離子刻蝕
工藝
,可以在硅表面加工蛾眼結(jié)構(gòu)來(lái)減少其對(duì)紅外光的反射。
jnV#Q ;
ca=MUm=B
r,eH7&P9{
}%KQrlbHJl
上圖:VirtualLab Fusion設(shè)計(jì)的抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)
&tOo[U?
rbf5~sw&8+
下圖:加工出來(lái)的抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)
圖片:4d9e47a0af3da75cc0fab016878887d.jpg
X}[1Y3~y
" lD -*e4
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