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chris
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樓主
發(fā)表于: 2007-03-20
本人最近才接觸的...但表面的銀很容易脫落,請(qǐng)問(wèn)有什么方法可以改善這問(wèn)題嗎??
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1樓
發(fā)表于: 2007-03-21
你們是用什么的設(shè)備的?抽氣的是擴(kuò)散泵嗎?我們也在PMMA/PC上鍍鋁,也同樣出現(xiàn)脫膜的問(wèn)題!不過(guò)福州大學(xué)那邊有人搞過(guò)實(shí)驗(yàn),他們鍍的沒(méi)脫!不過(guò)他們用的可是分子泵!可能是擴(kuò)散泵有油污染方面的問(wèn)題!當(dāng)然可能還存在別的問(wèn)題比如鋁與該板材線膨脹系數(shù)差別方面的原因或者吸潮方面的問(wèn)題等。ㄒ?yàn)槲覀冨冧X,透過(guò)率小一點(diǎn)的,當(dāng)時(shí)不脫的。過(guò)了一段時(shí)間才脫。┤绻銈?cè)O(shè)備好的話,在前面鍍鋁之前先鍍一層SiO2,這樣可能會(huì)好點(diǎn)!如果成功的話,麻煩通知一聲!謝謝!多多交流!我們這邊設(shè)備簡(jiǎn)單,公司買這種靶材,所以沒(méi)試過(guò)!
feihuawuxin@126.com
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2樓
發(fā)表于: 2007-03-21
剛才說(shuō)錯(cuò)了應(yīng)該是:(因?yàn)槲覀冨冧X,透過(guò)率大一點(diǎn)的,當(dāng)時(shí)不脫的。過(guò)了一段時(shí)間才脫。
Z3;!l
不好意思!
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chris
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3樓
發(fā)表于: 2007-03-22
我做的方法是鍍一層SIO->鍍->再鍍SIO,用手擦是不脫落的,但我的目標(biāo)是用膠紙也不脫落,希望大家能提出一些見(jiàn)議
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cswmsc
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4樓
發(fā)表于: 2007-03-22
不知你設(shè)備、工藝及基材情況,只能提供幾個(gè)措施供你參考:
3QI?[R.
1.設(shè)備真空度要高,一定不能反油.
9 7%0;a8
2.鍍件適當(dāng)加熱去除水氣.
I O%6 O
3.用等離子體清潔鍍件.
cN! uV-e
4.用離子源輔助沉積.
%CZ-r"A
5.鍍介質(zhì)層或鍍Cr10-20nm打底
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chris
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5樓
發(fā)表于: 2007-03-23
我是用加熱蒸鍍的,材料是PMMA
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mingdu
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6樓
發(fā)表于: 2007-03-23
我很贊同cswmsc 的說(shuō)法。
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nolla68
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7樓
發(fā)表于: 2007-03-24
銀的話第一層要鍍al2o3,大約是550NM1/2的qwot,溫度不可超過(guò)一百度,
J )BI:]m
sio2+al2o3+ag+al2o3+sio2
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chris
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8樓
發(fā)表于: 2007-03-28
有什么物料能取代al2o3嗎??
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wangxingyu
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9樓
發(fā)表于: 2007-05-16
請(qǐng)問(wèn)八樓!不是說(shuō)AL2O3放前面嗎?但《sio2+al2o3+ag+al2o3+sio2》這個(gè)又怎么說(shuō)呢?
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