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在此示例中,針對特定入射角研究了F-theta物鏡的焦點(diǎn)(PSF)。為了避免因離焦照明導(dǎo)致的焦點(diǎn)偏移而引入的額外計算量,根據(jù)光的主傳播方向來移動探測器位置。使用VirtualLab的參數(shù)耦合工具自動調(diào)整探測器的位置。 G* 6<pp 8dB~09Z7
ml2z ,99G2Ev4c 建模任務(wù) m%\[1|N 1dO8[5uM7a
jYZWf `X~ ]}l!L; 通過參數(shù)耦合自動定位探測器 jU~%5R ,]"u!,yHb 參數(shù)耦合允許用戶通過一個小腳本“片段”定義所需系統(tǒng)參數(shù)的變化。 T480w6-@ 因此,獨(dú)立輸入?yún)?shù)值的任何變化都會同時導(dǎo)致從屬(耦合)參數(shù)的變化。 c!T{|'? 在此示例中,我們將所需檢測器的橫向位置與主光線的位置重合。 ~` hcgCi% t"Hrn3w
YTh4&wm `:4cb$ 參數(shù)耦合過程 i%
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U1 為了找到探測器的適當(dāng)橫向位置,通過應(yīng)用參數(shù)耦合代碼段執(zhí)行附加的光線追跡步驟。可以導(dǎo)入此特定代碼段: [DEw:% Nf'9]I
s30_lddD uHCgIR
l> 探測器索引選擇 FCPRg^=<!~ bb/MnhB 必須在代碼片段的specification選項卡中指定探測器的唯一索引。 b2%[9)"I. w}b+vh^3Wy
o7seGw<$X [9^e
u>)A 斜入射 RJ44o>L4O $)~]4n=
e{:qW'% XQ+hTtP 現(xiàn)在,如果改變平面波光源的傳播方向,探測器的位置就會自動調(diào)整。在此示例中,15°的角度將導(dǎo)致x方向上26.3mm的偏移。 K gX)fj B)dynGF8i 性能評估 - 斜入射 sSK$ @=c='V]
k:xV[9ev: O=/Tx2i; 軸上&離軸照明 B=Os?'2[ =x}/q4}L 在離軸照明的情況下,探測器的位置也會自動調(diào)整。在此示例中,100μm的位移是由參數(shù)耦合自動考慮的。 quYZD6IH Yw<:I&
b1cd5 ^B9wmxe 性能評估 - 離軸照明 |M_Bbo@ud zOw]P6Gk 9Ba<'wk/>" ;4IP7$3G VirtualLab Fusion技術(shù) L\[jafb_` O7sn>uO
FzIA>njt Y# #J 文件信息 ?6bE!36 5;l_-0=
(XH)1 -Z! ;Z*RCuwg 延伸閱讀 {Hv=iVmt - 激光掃描系統(tǒng)的性能分析 Cu]X&l - VirtualLab Fusion中的參數(shù)耦合 eC-TZH@
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