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在此示例中,針對特定入射角研究了F-theta物鏡的焦點(PSF)。為了避免因離焦照明導(dǎo)致的焦點偏移而引入的額外計算量,根據(jù)光的主傳播方向來移動探測器位置。使用VirtualLab的參數(shù)耦合工具自動調(diào)整探測器的位置。 BnCKSg7V T;diNfgg
|.F /wxE1][. 建模任務(wù) Ja]?&j osOVg0Gyj
l"{Sm6:;- 6
4D]Ypx 通過參數(shù)耦合自動定位探測器 BaO1/zk 'lo 參數(shù)耦合允許用戶通過一個小腳本“片段”定義所需系統(tǒng)參數(shù)的變化。 T/c<23i 因此,獨立輸入?yún)?shù)值的任何變化都會同時導(dǎo)致從屬(耦合)參數(shù)的變化。 |+:h|UIUQ 在此示例中,我們將所需檢測器的橫向位置與主光線的位置重合。 9D 0dg( /w8"=6Vv~
kF{*(r=.o g|Y] wd 參數(shù)耦合過程 ?!=iu!J 為了找到探測器的適當(dāng)橫向位置,通過應(yīng)用參數(shù)耦合代碼段執(zhí)行附加的光線追跡步驟?梢詫(dǎo)入此特定代碼段: ?f*Q>3S) ="%W2
hH->%* uNHdpni 探測器索引選擇 ^*&X~8@) DY{cQb 必須在代碼片段的specification選項卡中指定探測器的唯一索引。 <e)o1+[w x1gx$P
#5&jt@NS -h-oMqgu( 斜入射 G){g <w>/^|]#
8L5!T6+D& B/J&l 現(xiàn)在,如果改變平面波光源的傳播方向,探測器的位置就會自動調(diào)整。在此示例中,15°的角度將導(dǎo)致x方向上26.3mm的偏移。 o5Y2vmz?9 0rokR&Y-d 性能評估 - 斜入射 C}?0`!Cc% zSv^<`X3
0IT@V5Gdj 3+xy4G@L 軸上&離軸照明 y^Vw`-e zTo8OPr 在離軸照明的情況下,探測器的位置也會自動調(diào)整。在此示例中,100μm的位移是由參數(shù)耦合自動考慮的。 }wwe}E-e _M,lQ~
?0<w `@`1pOb 性能評估 - 離軸照明 D);'pKl T7$S_ | A:@&| K?u(1 VirtualLab Fusion技術(shù) TNY4z(r [m'CR 4(|
8[bkHfI =l942p 文件信息 >0Ev#cX4 C+K=[
7Bz*r0 9S x.$1<w64t 延伸閱讀 JmOW~W - 激光掃描系統(tǒng)的性能分析 GZ}/leR - VirtualLab Fusion中的參數(shù)耦合 5V-jMB
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