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[技術(shù)]集成微透鏡陣列的CMOS傳感器分析 [復(fù)制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2022-05-07

在最近的幾十年里，COMS傳感器的像素尺寸由最初大于10um以發(fā)展至2um，甚至更小。通過(guò)減小像素尺寸以獲得更高的空間分辨率。與此同時(shí)，這也為覆蓋在每個(gè)像素上的微透鏡的功能帶來(lái)了疑問(wèn)。在此示例中，我們研究了像素大小等于或小于2um CMOS傳感器的性能。并在仿真分析中采用嚴(yán)格的FMM / RCWA以檢測(cè)微透鏡的有效性。

2. 建模任務(wù)

采用的幾何參數(shù)來(lái)自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)

3. 2 um像素的微透鏡陣列(X-Z截面仿真) #Olg(:\
+KK$0pL

4. 1.8 um像素的微透鏡陣列(X-Z截面仿真) _&{%Wc5W~F
o sdOw8

5. 1.6 um像素的微透鏡陣列(X-Z截面仿真) H9"= p
Y'm=etE

6. 3D仿真與結(jié)果對(duì)比 go|>o5!g
:F|\Ij0T

7. 走進(jìn)VirtualLab Fusion 4!%]fg}Um
&{^eU5

8. VirtualLab Fusion的工作流程

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[技術(shù)]集成微透鏡陣列的CMOS傳感器分析 [復(fù)制鏈接]


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