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像光柵這樣的光學(xué)設(shè)備對(duì)光的偏振比較敏感。 因此,在仿真中適當(dāng)考慮光的偏振非常重要。 在實(shí)際中,光柵有時(shí)會(huì)以非偏振光作為輸入。 作為兩個(gè)正交偏振態(tài)的平均值,我們?yōu)槟故玖巳绾卧赩irtualLab Fusion中建模這種用于光柵仿真的非偏振光。 為此,我們提供了示例來說明軟件中的相應(yīng)設(shè)置。 j*gJP
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g*i 光柵仿真中的非偏振光 i>,AnkI& •光柵分析 M-@X&bm,S −對(duì)于使用傅立葉模態(tài)方法(FMM / RCWA)的單光柵分析,使用平面波入射來計(jì)算 t"YsIOT:O" 例如:作為被研究光柵固有特性的衍射效率。 OR!W3
@ pc0{ •非偏振平面波 v\4<6Z:4 −考慮到沿z方向的平面波,可以將非偏振光視為同一時(shí)間可以處于任何偏振態(tài)。 -,b+tC<V)0 −任意偏振態(tài)可以沿兩個(gè)正交基底投影,并且統(tǒng)計(jì)上,非偏振光沿兩個(gè)正交基底給出相等的投影。 Y8]@y0( −因此,我們可以使用兩個(gè)正交狀態(tài)的平均值,并以非相干方式表示非偏振光。 zD<W`_z @`C'tfG/4 L;$>SLl, ltDohm? 光柵仿真中的光源設(shè)置 TUC)S&bC •手動(dòng)控制光源偏振態(tài) T:Nk9t$W7@ −在VirtualLab Fusion中,光始終以矢量形式表示,并且可以完全控制光源設(shè)置中的偏振態(tài)。 w6cl3J& −按照基本概念,可以根據(jù)非偏振光的需要,以特定的輸入偏振態(tài)執(zhí)行光柵仿真。 例如,通過選擇TE和TM偏振作為兩個(gè)正交基,分別執(zhí)行光柵仿真,然后通過功能區(qū)菜單功能手動(dòng)平均結(jié)果。 RU4X#gP4Vh o.A:29KoU sAqy(oy#M J](NCD 光柵仿真中的偏振相關(guān)分析器 E5)0YYjHZ •光柵偏振分析器 l#1#3F −為計(jì)算光柵衍射效率,VirtualLab Fusion提供了偏振分析器,用于研究偏振相關(guān)效應(yīng)。 >~rlnRX −偏振分析器,例如:光柵級(jí)次分析器對(duì)入射的偏振態(tài)具有額外控制。 Sk>=C0f: −偏振分析器中的偏振設(shè)置獨(dú)立于光學(xué)裝置中的光源設(shè)置。 Z;81" k:run2K <MkvlLu((o N;'c4=M~( 實(shí)例1:使用非偏振紫外光的Talbot圖像 [UZr|F
<6Gs0\JB 建模任務(wù) yT_W\"=8 wV==sV > B@
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