目前太赫茲(Terahertz, THz)成像技術(shù)在許多領(lǐng)域被視為最前沿技術(shù)之一，經(jīng)過(guò)20年的發(fā)展，取得了巨大進(jìn)步。隨著科研、醫(yī)療、軍事以及工業(yè)應(yīng)用需求的增長(zhǎng)，高分辨率THz圖像變得不可或缺。超分辨率成像是目前THz技術(shù)的研究熱點(diǎn)。本文首先回顧了THz系統(tǒng)的成像方法，包括連續(xù)波成像與脈沖波成像兩種方式；在此基礎(chǔ)上，詳細(xì)介紹了THz超分辨率成像系統(tǒng)與THz信號(hào)處理技術(shù)，其中超分辨率成像系統(tǒng)包括近場(chǎng)成像、超透鏡以及太噴射裝置等，THz信號(hào)處理技術(shù)包括超分辨率重建與卷積計(jì)算等；最后，通過(guò)分析目前超分辨率成像存在的不足，比如系統(tǒng)的制造工藝要求高、采集速度慢以及重建圖像使用的學(xué)習(xí)樣本分辨率較低等，從而進(jìn)一步對(duì)超分辨率成像研究方向進(jìn)行展望。