目前太赫茲(Terahertz, THz)成像技術在許多領域被視為最前沿技術之一，經(jīng)過20年的發(fā)展，取得了巨大進步。隨著科研、醫(yī)療、軍事以及工業(yè)應用需求的增長，高分辨率THz圖像變得不可或缺。超分辨率成像是目前THz技術的研究熱點。本文首先回顧了THz系統(tǒng)的成像方法，包括連續(xù)波成像與脈沖波成像兩種方式；在此基礎上，詳細介紹了THz超分辨率成像系統(tǒng)與THz信號處理技術，其中超分辨率成像系統(tǒng)包括近場成像、超透鏡以及太噴射裝置等，THz信號處理技術包括超分辨率重建與卷積計算等；最后，通過分析目前超分辨率成像存在的不足，比如系統(tǒng)的制造工藝要求高、采集速度慢以及重建圖像使用的學習樣本分辨率較低等，從而進一步對超分辨率成像研究方向進行展望。