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    [技術]高數(shù)值孔徑(NA)物鏡的聚焦分析 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2022-06-09
    高NA物鏡廣泛用于光刻,顯微等技術。因此,聚焦仿真中考慮光的矢量性質至關重要。VirtualLab可以非常便捷地對此類鏡頭進行光線追跡和場追跡分析。通過場追跡,可以清楚地觀察由于矢量效應引起的聚焦光斑失對稱現(xiàn)象。利用相機探測器和電磁場探測器能夠對聚焦區(qū)域進行靈活全面的研究,進而加深對矢量效應的理解。 ;1_3E2E$  
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    2. 建模任務 ;/ |tU o$  
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    3. 概述 )@tHS-Jf  
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     示例系統(tǒng)包含了高數(shù)值孔徑物鏡 Tgla_sMb  
     下一步,我們將闡述如何遵循VirtualLab中推薦的工作流程執(zhí)行示例系統(tǒng)的仿真。 8NNs_~+x}  
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    4. 光線追跡仿真 Bk5 ELf8pL