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- 注冊時間2020-06-19
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高NA物鏡廣泛用于光刻,顯微等技術。因此,聚焦仿真中考慮光的矢量性質至關重要。VirtualLab可以非常便捷地對此類鏡頭進行光線追跡和場追跡分析。通過場追跡,可以清楚地觀察由于矢量效應引起的聚焦光斑失對稱現(xiàn)象。利用相機探測器和電磁場探測器能夠對聚焦區(qū)域進行靈活全面的研究,進而加深對矢量效應的理解。 ;1_3E2E$ \?Xoa"^
Bz%wV- eQ[}ALIq 2. 建模任務 ;/ |tU
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V4n;N Ne3YhCC> 3. 概述 )@tHS-Jf Ui1s]R d|W=_7z 示例系統(tǒng)包含了高數(shù)值孔徑物鏡 Tgla_sMb 下一步,我們將闡述如何遵循VirtualLab中推薦的工作流程執(zhí)行示例系統(tǒng)的仿真。 8NNs_~+x} 8aM\B%NGWi
<4zSh3 MlS5/9m@^ 4. 光線追跡仿真 Bk5 ELf8pL
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