在這篇文章中,我們簡要介紹了使用SYNOPSYS設(shè)計(jì)衍射
光學(xué)元件(DOE)的過程。本文討論了衍射光學(xué)元件(DOE)在SYNOPSYS的不同類型以及相應(yīng)的設(shè)計(jì)過程和案例。主要目的是為剛接觸這個(gè)課題的設(shè)計(jì)者提供一個(gè)起點(diǎn),看看SYNOPSYS有哪些DOE面型可使用。
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&InFC5A 什么是衍射光學(xué)元件(DOE)?
H$6;{IUz~ 衍射光學(xué)元件(DOE, Diffractive Optical Element)是近幾年蓬勃發(fā)展的新興光學(xué)元件。衍射光學(xué)元件是通常采用微納刻蝕工藝構(gòu)成二維分布的衍射單元,每個(gè)衍射單元可以有特定的形貌、折射率等,對
激光波前位相分布進(jìn)行精細(xì)調(diào)控。激光經(jīng)過每個(gè)衍射單元后發(fā)生衍射,并在一定距離(通常為無窮遠(yuǎn)或
透鏡焦平面)處產(chǎn)生干涉,形成特定的光強(qiáng)分布。
VzWH9%w 衍射光學(xué)元件不僅具有體積小、重量輕的優(yōu)點(diǎn),并且在傳統(tǒng)光學(xué)元件的基礎(chǔ)上又多了許多新的特點(diǎn):
mS+sh'VH 1.衍射效率高:作為一種純相位調(diào)制的光學(xué)器件,若衍射光學(xué)元件表面浮雕結(jié)構(gòu)的位相是連續(xù)的,則具有高衍射效率的性能。研究者通常將這種連續(xù)的位相通過二進(jìn)制量化來獲得多臺(tái)階位相,盡可能地接近連續(xù)位相值。
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