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表面等離子體激元（SPPs）是由于金屬中的自由電子和電介質(zhì)中的電磁場相互作用而在金屬表面捕獲的電磁波，并且它在垂直于界面的方向上呈指數(shù)衰減。[1] *BF1Sso  
 與絕緣體-金屬-絕緣體(IMI)等離子波導(dǎo)相比，金屬-絕緣體-金屬(MIM)波導(dǎo)具有很強的光約束，對SPPs來說，其傳播距離可接受。 h.c)+wz/%C  
 有許多種類的納米波導(dǎo)濾波器：齒形等離子體波導(dǎo)[2]，盤型諧振腔Channel drop濾波器，矩形幾何諧振腔[3]以及環(huán)形諧振腔[4]。 CfVz'  
 MIM波導(dǎo)中，有兩種等離子體濾波器，即帶通和帶阻濾波器。 <uAqb Wu  
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