ui56<gI- Wl !!5\ 在高約束
芯片上與亞微米波導(dǎo)上耦合光的兩種主要方法是
光柵或錐形耦合器。[1]
N^Hn9n 耦合器由高折射率比
材料組成,是基于具有
納米尺寸尖端的短錐形。[2]
t$y&=v 錐形耦合器實(shí)際上是
光纖和亞微米波導(dǎo)之間的緊湊模式轉(zhuǎn)換器。[2]
G{f`K^ 錐形耦合器可以是線性[1]或拋物線性[2]過(guò)渡。
:%uyy5AZ 選擇Silicon-on-insulator(SOI)技術(shù)作為納米錐和波導(dǎo)的平臺(tái),因?yàn)樗峁└哒凵渎时龋ǘ趸鑼幼鳛?span onclick="sendmsg('pw_ajax.php','action=relatetag&tagname=光學(xué)',this.id)" style="cursor:pointer;border-bottom: 1px solid #FA891B;" id="rlt_1">光學(xué)緩沖器,并允許與集成
電子電路兼容。[2]
V"7<[u]K| bL'# /G)KkBC
_
7BF+*T [1] Jaime Cardenas, et al., “High Coupling Efficiency Etched Facet Tapers in Silicon Waveguides,” IEEE Phot. Tech. Lett. VOL. 26, NO. 23, 2380-2382 (2014)
6t_ 3%{ [2] Vilson R. Almeida, et al., "Nanotaper for compact mode conversion," Opt. Lett. 28, 1302-1304 (2003);
!k:zLjtp T^'*_*m 3D FDTD仿真 AY&9JSu6 v#:+n+y\z <t[Z9s$n 要
模擬的關(guān)鍵部件是來(lái)自參考文獻(xiàn)[1]的線性錐形硅波導(dǎo)(160 nm至500 nm寬度變化超過(guò)100 um長(zhǎng)度,250 nm高度),它埋在二氧化硅波導(dǎo)中(注意:使用的尺寸減小了(1.5 umx1.5 umx105 um),以便達(dá)到更快的模擬時(shí)間)
=wIdC3Ph