這是一維周期線光柵案例的一個變形。它的靈感來自閃耀光柵。在一維線柵的案例中,周期單元晶胞包含通過光柵的二維橫截面。這里的橫截面包含兩個寬度、高度和角度不同的三角形。這些三角形線條位于襯底上,被背景材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(線柵)、玻璃(基底)和空氣(背景材料)。 光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計算近場分布。同時通過后處理傅里葉變換計算透射衍射級次的振幅。下圖顯示了當波長為193nm時,平面波從襯底側垂直入射到結構內(nèi)的近場強度。 S偏振光照明的近場強度 P偏振光照明的近場強度 |