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d *{ rorir 由于相位和
結(jié)構(gòu)之間的直接關(guān)系，
衍射分束鏡通常采用一定的傍軸近似來設(shè)計，這些算法也提供了這種近似，反之亦然。在非傍軸或甚至高NA分束器的情況下，這些近似將引入一些不準確性，因此，如果不進行額外嚴格的后
優(yōu)化，至少建議進行嚴格的分析。在這個用例中，使用奇數(shù)衍射級對典型的二元1:6分束器執(zhí)行這樣嚴格的評估。為此，對初始
系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)進行了
參數(shù)化，并通過可編程
光柵分析器定義了一組自定義的評價函數(shù)。對于參數(shù)優(yōu)化和后續(xù)的公差分析，使用嚴格的傅里葉模態(tài)法 (FMM)。
P{o)Ir8Tt U,#~9 建模任務(wù) ^FLs_= E
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%,T*[d &i tkj-.~@g0' 衍射分束面初始設(shè)計(*) , jY:@< n
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0/GBs~P 1B;2 ~2X 1. 采用VirtualLab Fusion的迭代傅里葉變換算法(IFTA)設(shè)計工具計算了分束器的初始相位函數(shù)。
eh9 ?GUr5 2. 對于高度輪廓的轉(zhuǎn)換，采用了基于薄元件近似(TEA)的結(jié)構(gòu)設(shè)計。
R;OPY?EeW ^ +>*Y=fl (*)不是這個用例的一部分 (**)這些會話編輯器在衍射
光學(xué)工具箱銀版中可用。
gc A:Q4 q A .9X4NQ TEA和等距抽樣結(jié)構(gòu)的局限性 h3@tZL#g
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FOk&z!xYKd m'"r<]pB*4 TEA非常適合于最小特征尺寸不小于約5倍
波長的情況。如果不是這樣，振幅/相位分布與設(shè)計高度輪廓相互作用后可能會顯示出與期望值的相關(guān)偏差。
/QQRy_Z1) 因此，需要進行嚴格的評估。
G&*P*f1 S 對于參數(shù)優(yōu)化，需要對結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)進行不同的定義。
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