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我國科學(xué)家首次獲得納米級光雕刻三維結(jié)構(gòu)

發(fā)布：cyqdesign 2022-09-15 21:19 閱讀：1803
據(jù)南京大學(xué)微信公眾號消息，9月14日夜，國際頂級學(xué)術(shù)期刊《自然》發(fā)表了南京大學(xué)張勇、肖敏、祝世寧領(lǐng)銜的科研團(tuán)隊在下一代光電芯片制造領(lǐng)域的重大突破�？蒲袌F(tuán)隊發(fā)明了一種新型“非互易飛秒激光極化鐵電疇”技術(shù)，將飛秒脈沖激光聚焦于材料“鈮酸鋰”的晶體內(nèi)部，通過控制激光移動的方向，在晶體內(nèi)部形成有效電場，實現(xiàn)三維結(jié)構(gòu)的直寫和擦除。這一新技術(shù)，突破了傳統(tǒng)飛秒激光的光衍射極限，把光雕刻鈮酸鋰三維結(jié)構(gòu)的尺寸，從傳統(tǒng)的 1 微米量級（相當(dāng)于頭發(fā)絲的五十分之一），首次縮小到納米級，達(dá)到 30 納米，大大提高了加工精度。 DqLZc01>  
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這一重大發(fā)明，未來或可開辟光電芯片制造新賽道，有望用于光電調(diào)制器、聲學(xué)濾波器、非易失鐵電存儲器等關(guān)鍵光電器件芯片制備，在 5G / 6G 通訊、光計算、人工智能等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用前景。 MDfE(cn2q  
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這一工作將飛秒激光極化技術(shù)與鈮酸鋰鐵電疇工程有機(jī)結(jié)合，突破了傳統(tǒng)技術(shù)的壁壘，首次在三維空間實現(xiàn)了納米鐵電疇可控制備。將其應(yīng)用于量子光學(xué)領(lǐng)域，可實現(xiàn)高效、高維和窄線寬量子糾纏產(chǎn)生；在電子學(xué)領(lǐng)域，可以推動高性能鐵電疇壁納米電子器件的發(fā)展，譬如大容量可重寫非易失性存儲器；在聲學(xué)領(lǐng)域，納米周期的鐵電疇結(jié)構(gòu)可以實現(xiàn)超高頻聲學(xué)諧振器和濾波器。飛秒激光極化技術(shù)可以進(jìn)一步應(yīng)用于其他鐵電晶體，包括鉭酸鋰和磷酸鈦鉀晶體等，并促進(jìn)高性能三維光、聲、電集成器件的發(fā)展。 ^-CQ9r*  
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飛秒激光 3D 打印納米鐵電疇
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該項研究工作得到了科技部國家重點研發(fā)計劃、國家自然科學(xué)基金、固體微結(jié)構(gòu)物理國家重點實驗室和人工微結(jié)構(gòu)科學(xué)與技術(shù)協(xié)同創(chuàng)新中心的支持。 &Rgy/1  
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相關(guān)閱讀：http://www.belacell.cn/index-htm-m-cms-q-view-id-8216.html
關(guān)鍵詞： 飛秒激光芯片光雕刻
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最新評論

redplum 2022-09-16 08:58
這個很挫啊
likaihit 2022-09-16 08:59
首次縮小到納米級
zhouxi 2022-09-16 09:13
科研團(tuán)隊發(fā)明了一種新型“非互易飛秒激光極化鐵電疇”技術(shù)，將飛秒脈沖激光聚焦于材料“鈮酸鋰”的晶體內(nèi)部，通過控制激光移動的方向，在晶體內(nèi)部形成有效電場，實現(xiàn)三維結(jié)構(gòu)的直寫和擦除。這一新技術(shù)，突破了傳統(tǒng)飛秒激光的光衍射極限，把光雕刻鈮酸鋰三維結(jié)構(gòu)的尺寸，從傳統(tǒng)的 1 微米量級（相當(dāng)于頭發(fā)絲的五十分之一），首次縮小到納米級，達(dá)到 30 納米，大大提高了加工精度。
sgsmta 2022-09-16 09:27
光電芯片制造
churuiwei 2022-09-16 09:41
非互易飛秒激光極化鐵電疇
blacksmith 2022-09-16 09:50
納米級光雕刻三維結(jié)構(gòu)
u201713898 2022-09-16 10:32
光電芯片制造領(lǐng)域的突破 ^a@Vn\V1  
personking 2022-09-16 10:39
The research team invented a novel non-reciprocal femtosecond laser polarization ferroelectric domain technology. The femtosecond pulse laser is focused on the inside of lithium niobate crystal. By controlling the direction of laser movement, an effective electric field is formed inside the crystal, and the 3D structure can be directly written and erased IAbK]kA  
This new technology breaks through the optical diffraction limit of traditional femtosecond laser, and reduces the size of the three-dimensional structure of lithium niobate from the traditional 1 micron (equivalent to one-fiftieth of a human hair) to the nanoscale for the first time, reaching 30 nanometers, greatly improving the processing accuracy
stevenwu2046 2022-09-16 10:41
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