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衍射式分束器被廣泛用于光學(xué)應(yīng)用中，以產(chǎn)生規(guī)則和不規(guī)則的圖案。所應(yīng)用的衍射方法允許薄而輕的元件，但也導(dǎo)致它們對(duì)入射光線的角度高度敏感。在這個(gè)例子中，我們展示了這種效應(yīng)對(duì)給定微結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的反射式5×5規(guī)則分束器的影響。該設(shè)計(jì)在正入射情況優(yōu)化，其性能在不同入射角下被評(píng)估，并計(jì)算出相應(yīng)的衍射圖案。之后，針對(duì)不同的入射角對(duì)設(shè)計(jì)進(jìn)行了優(yōu)化，例如通過(guò)改變微結(jié)構(gòu)的高度。 Yq$KYB j  
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建模任務(wù) Z}8khNCYr  
uPmK:9]3R  
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微結(jié)構(gòu) kK,Ne%}a2K  
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微結(jié)構(gòu)組件的配置 NMM$ m!zg  
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- Microstructure組件由一個(gè)平面組成，在這個(gè)平面上應(yīng)用具有Channel Operator with a Complex Surface Response。 MJzY|  
- 在Channel Operator的設(shè)置中，微觀結(jié)構(gòu)是由提到的Complex Surface Response定義的，要么是理想的，要么是包含真實(shí)結(jié)構(gòu)的Stack，也就是高度輪廓。 c SV`?[a  
- 在這個(gè)用例中，Sampled Grating被用來(lái)描述預(yù)期的高度輪廓，并應(yīng)用在基面的背面。 mB.j?@Y%  
- 用于通過(guò)堆棧傳播的精度系數(shù)可以根據(jù)具體任務(wù)進(jìn)行調(diào)整。在這個(gè)例子中，為了對(duì)表面進(jìn)行充分的采樣，使用了一個(gè)2的系數(shù)。 @MoBR.  
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總結(jié)-組件… MR?5p8S#g  
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監(jiān)測(cè)器平面上的衍射圖案 !jySID?q  
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