h;+bHrKji 在最近的幾十年里,COMS傳感器的
像素尺寸由最初大于10um以發(fā)展至2um,甚至更小。通過減小像素尺寸以獲得更高的空間
分辨率。與此同時(shí),這也為覆蓋在每個(gè)像素上的微
透鏡的功能帶來了疑問。在此示例中,我們研究了像素大小等于或小于2um CMOS傳感器的性能。 并在
仿真分析中采用嚴(yán)格的FMM / RCWA以檢測微透鏡的有效性。
D^\gU-8M wjRv=[ 2. 建模任務(wù) `dGcjLsIz 采用的幾何參數(shù)來自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
5s /fBS )0tq& 采用的幾何參數(shù)來自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)
h)~i?bq!/ (^U
8wit/ ,;
81FK 3. 2 um像素的微透鏡陣列(X-Z截面仿真)
zfm-vU
Omkpjr(1
`S&.gPE2 UtpK"U$XOU 4. 1.8 um像素的微透鏡陣列(X-Z截面仿真) :S_3(/} \
UHaY|I${U
Z%_m<Nf8T oh@|*RU 5. 1.6 um像素的微透鏡陣列(X-Z截面仿真) n[`KhRN
8-"lK7
HW"';M% 6u6,9VG, 6. 3D仿真與結(jié)果對比 fxcCz 5
A4|L;z/A[h
)W0zu\fL = ;_