菲索干涉系統(tǒng)通過標(biāo)準(zhǔn)參考鏡出射理想波前進(jìn)行檢測，測量精度取決于參考面面形加工精度，但是在進(jìn)行菲索干涉系統(tǒng)仿真時(shí)，不知道是否需要考慮標(biāo)準(zhǔn)參考鏡前的擴(kuò)束準(zhǔn)直系統(tǒng)每一部分的出射的波前質(zhì)量。 SUINV_>7  
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請教的問題是，波前質(zhì)量也要達(dá)到測量精度要求，還是只需要達(dá)到基本擴(kuò)束準(zhǔn)直效果，如果需要優(yōu)化波前的話，操作數(shù)如何控制呢，總是達(dá)不到目標(biāo)波前質(zhì)量。