"($"T v2  
光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務(wù)。效率可由瑞利系數(shù)計(jì)算得到，對(duì)于光柵的每個(gè)衍射階次都給出了這兩個(gè)量。VirtualLab Fusion可通過(guò)全矢量的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱(chēng)為RCWA）來(lái)計(jì)算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器，可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 C"7-lz  
W*.j=?)\[  
y).dw(  
%H/V iC  
光柵詳細(xì)說(shuō)明 RwyX,|  
X^o0t^  
2pQ29  
xw
Si.~.  
•為了演示一維光柵的光柵分析器，我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 o{[w6^D7  
•可以在堆棧中指定光柵參數(shù)，并且在光柵組件的編輯對(duì)話(huà)框中訪問(wèn)該參數(shù)。 4(nwi[1Y  
y?Cq{(  
光柵階次分析器設(shè)置 XU5GmGu_+  
(ay((|)  
•定義光柵結(jié)構(gòu)后，可以配置光柵階次分析器。 0+
{CN|0  
•可以指定各種輸出選項(xiàng)。 }j`#s  
•可以在光學(xué)設(shè)置視圖中雙擊它的元件打開(kāi)分析器的編輯對(duì)話(huà)框。 P!xN]or]u  
W @ ?*