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    [原創(chuàng)]關(guān)于射頻中和器陰極材質(zhì)和形狀的一點(diǎn)知識(shí) [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2022-11-15
    最近接到新柯隆射頻離子源的中和器問題的問詢比較多,大多數(shù)問題和客戶一起解決了。 4KT-U6zNx  
    新柯隆中和器因?yàn)槭亲云ヅ洌]有手調(diào)的地方),所以一旦發(fā)生問題,很多客戶都是一頭霧水。 EP}NT)z,{  
    我在這里普及一點(diǎn)我知道的知識(shí),希望大家碰到問題的時(shí)候能夠給一些幫助。 8jm\/?k|  
    ;sfk@ec  
    很多中和器問題的原因1:陰極的材質(zhì) M`gr*p  
    新柯隆老款是鎳,新款是鉭。(中間有摻雜,并非純的) ]Q*eCt;l"K  
    鎳的優(yōu)點(diǎn)是軟,容易修正形狀。但是鎳在300度以上很容易氧化。 iTg7@%  
    我客戶新舊兩款中和器上,同樣的副廠鎳電極,同樣的冷卻時(shí)間。 EE[JXoke  
    老款中和器穩(wěn)定運(yùn)行,但是新款設(shè)備的鎳電極很快就氧化了。 `6 `oLu\l  
    (陶瓷杯內(nèi)部很多渣,產(chǎn)品表面麻點(diǎn),中和器不穩(wěn)定) =VM4Q+'K  
    估計(jì)是新老兩款中和器的溫度或者散熱速度不一樣。 _.G p}0a  
    ^. ; x  
    鉭的優(yōu)點(diǎn)是耐氧化,但是一旦加熱就會(huì)變脆,一旦變形無法修正。 v %GcNjZk5  
    原廠的鉭電極一般壽命在1年左右。(根據(jù)我客戶問我購買的頻度推測(cè)) k=r)kkO)  
    Sn ~|<Vf  
    問題的原因2:陰極的形狀和工藝 #+ 6t|  
    fY{&W@#g  
    新柯隆的原廠鉭中和器陰極已經(jīng)改進(jìn)了形狀,大大減小了變形。 [sweN]b6F  
    副廠中和器有先卷成筒然后切割的,也有先切后卷的,先卷后切的不易變形。 u