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n3sZ<} 干涉測量法是一項用于
光學(xué)測量的重要技術(shù)。它被廣泛應(yīng)用于表面輪廓、缺陷、
機(jī)械和熱變形的高
精度測量。作為一個典型示例,在非
序列場追跡技術(shù)的幫助下,于
VirtualLab Fusion中建立了具有相干
激光源的馬赫-澤德
干涉儀。該例證明了
光學(xué)元件的傾斜和位移對干涉條紋圖的影響。
p~BEz?e Qne@Vf kA 建模任務(wù) UM3}7| 5{L~e>oS9
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UOHH Ja"?Pb 由于組件傾斜引起的干涉條紋 b<n*wH ^|hlY]Ev
<Y:{>= l1l=52r 由于偏移傾斜引起的干涉條紋 lK
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