白光
干涉儀是一種非接觸測量技術,用于如表面輪廓或微小位移的高
精度測量。利用一個邁克爾遜
干涉儀系統(tǒng)和一個氙燈
光源在
VirtualLab Fusion中
仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等
光譜特性,結果表明只有當兩臂的路徑長度基本相同時才會出現(xiàn)干涉圖樣。
nW7Ew<`Q .Bb86Y=3 %}x$YDO .X)TRD#MW 2. 建模任務 |ZBHXv
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ZclZD{%8J mw,\try 3. 干涉條紋的變化 U9:w