白光干涉儀是一種非接觸測量技術(shù)，用于如表面輪廓或微小位移的高精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性，結(jié)果表明只有當兩臂的路徑長度基本相同時才會出現(xiàn)干涉圖樣。 kz=Ql|@  
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2. 建模任務(wù) k{Ad(S4J&  
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3. 干涉條紋的變化 tRC*@>I$  
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4. 走進VirtualLab Fusion PPpq"c  
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5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 nXRT%[o&  
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•             輸入場設(shè)置

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• 定義元件的位置和方向

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• 正確設(shè)置非序列追跡通道

• 使用“參數(shù)運行”檢查影響/變化

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