$|Ol?s 高NA(數(shù)值
孔徑)
物鏡常用于
光學顯微及光刻，并已廣泛在其他應用中得以使用。眾所周知，在高數(shù)值孔徑物鏡的使用中，電磁場矢量特性的影響是不可忽略的。一個眾所周知的例子就是由高NA(數(shù)值孔徑)物鏡聚焦線性偏振圓
光束時，焦斑的不對稱性:焦斑不再是圓的，而是拉長的。我們通過具體的物鏡
實例來說明了這些效應，并演示了如何在VirtualLab Fusion中使用不同的
探測器分析焦斑。
,(oolx"Xa 高數(shù)值孔徑物鏡的聚焦分析
*b~8`O pa` '9]?jkl 高數(shù)值孔徑(NA)物鏡廣泛用于光學光刻、顯微
系統(tǒng)等。在對焦斑的
模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。
M
p <r`PM2 高數(shù)值孔徑(NA)物鏡系統(tǒng)的先進點擴散函數(shù)計算
F
]X<q uuL 7>im2"zm 當線性偏振高斯光束經(jīng)高數(shù)值孔徑(NA)
非球面透鏡聚焦時，由于矢量效應，焦平面上的PSF呈現(xiàn)非對稱性。
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